在短短18個月內，您目前構建的系統必須生產出比現在制造的芯片復雜兩倍的芯片，但仍以相同的價格出售。這只能通過可靠且經濟的自動化解決方案來實現。我們深知整個系統可用性對半導體和電子元件制造商有多重要。您需要哪些產品和服務？我們在全球為您服務。

應用：控制和調節冷卻回路

您面臨的挑戰：在半導體制造過程中可靠地調節冷卻液

Festo 的解決方案：

閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質的氣控閥

CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O，例如用來控制電控閥、集成傳感器或創建閉環控制回路。此閥島還可用于執行診斷和遠程維護功能。

氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介質流量。即使在閉環控制回路中，也能可靠、準確地調節非常冷和/或熱的介質。

角行程驅動器 DFPD (4)驅動 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質的主管線和進/出管線的大流量翻板閥。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準確地測量介質流量以及溫度和壓力。